电子特种气体:抓住机遇,享受政策东风

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抓住机遇,享受政策东风

气体工业是国民经济基础工业之一,覆盖社会生产的各个领域,受益于国民生活,牵动着科学技术的发展。特种气体是指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气,高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体是泛半导体产业制造的关键电子材料,直接关系到我国民经济发展和国家战略安全。根据气体圈子2017年统计数据显示,政府各部门多次出台特种气体鼓励政策。2017年5月2日,科技部印发《“十三五”先进制造技术领域科技创新专项规划》中关键材料部分提到面向45-28-14纳米集成电路工艺,重点研发包括超高纯电子气体和其他关键材料产品。6月16日,特种气体首次入选国家工信部《重点新材料首批次应用示范指导目录(2017年版)》。

9月12日,工信部、财政部、保监会决定建立新材料首批次应用保险补偿机制并开展试点工作。将《重点新材料首批次应用示范指导目录》生产首批次新材料的企业作为保险补偿政策的支持对象。原则上政府补贴的责任限额不超过合同金额的5倍、且最高不超过5亿元人民币,投保费率最高不超过3%。11月11日,国家科技部重点研发专项“微纳电子制造用超高纯电子气体”项目启动会在浙江衢州召开。11月27日,发改委印发《增强制造业核心竞争力三年行动计划(2018-2020年)》第四部分高端专用化学品第三条提到特种电子气体:高纯氯气、氯化氢、氧硫化碳(COS羰基硫)、乙硼烷、锗烷、高纯锗烷、砷烷、高纯砷烷、磷烷、高纯磷烷、乙硅烷、高纯溴化氢、高纯乙硅烷等。“中国制造2025”对核心基础零部件(元器件)的政策目标,对应到半导体产业链部分,至2020年大陆IC内需市场自给率目标达40%,2025年将更进一步提高至70%。

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