氦气在氦质谱检漏技术中的应用原理

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氦质谱检漏仪用氦气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。是一种应用于国内外的真空容器检漏先进技术。与一般的检漏技术相比,氦质谱检漏技术快速、准确、灵敏度高及无损伤性等优点。氦质谱检漏仪的示踪气体也可以是其他元素。但通常选用氦气,因为氦气具有以下特性:

1、氦气在空气中的含量极少,只占约二十万分之一,易于发现;

2、氦分子小、质量轻、易扩散、比其它气体易穿越漏孔;

3、氦离子荷质比小,易于进行质谱分析;

4、氦气是无毒、无味,对大气无污染。

5、氦气是惰性气体,化学性质稳定,不会腐蚀和损伤设备;

6、氦气无毒,不凝结,极难容于水。

正因为氦气具有以上特性,所以氦气检漏应用已从科研院所到工业企业乃至到个体企业,可以说应用领域极其宽广

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